铟镓砷相机是一种高性能、高分辨率的短波红外相机，常应用于高光谱遥感、多光谱遥感、烟雾穿透、夜视安防、远程监测测、资料分选等领域。此外，由于其在900nm-1700nm范围内比硅材料的光量子效率高，因此铟镓砷相机拍摄出来的图像质量好，成像清晰，在半导体缺陷检测方面有广泛的应用。半导体器件制造是一个复杂的多步骤过程, 包括晶圆制备、前道工序（FEOL）和后道工序（BEOL）。 半导体制造商为了提高良率，在晶圆制备、FEOL和BEOL中引入一系列检测过程，利用红外相机检测晶锭（ingot）是否存在表面冗余物（颗粒污染物/有机污染物等）、机械损伤（划痕/裂痕/狭缝等）、晶格缺陷（位错等）、应力分布不均等方面的缺陷。是否存在杂质、机械损伤、晶格缺陷、应力不均匀。兢地公司自研或者代理的铟镓砷（InGaAs）材料的红外相机工作在900nm-1700nm波段内，这一范围跨越了近红外700nm-1400nm和SWIR光1400nm-3000nm，在半导体缺陷检测方面有很广泛的应用。相机具有高灵敏度、高分辨率、制冷噪声低的特点。欢迎各位来展台交流。